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集成电路用混合气体15%氙/氢

作者:河北省标准化协会 日期:2023-08-07 点击:547
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各有关单位:

       根据《河北省标准化协会团体标准管理办法》的有关规定,河北省标准化协会批准发布《集成电路用混合

气体15%氙/氢》团体标准,该标准于2023年7月27日发布,2023年7月27日实施。现予以发布。

       标准的编号及名称如下:

        T/CHBAS  35-2023  集成电路用混合气体15%氙/氢


                                                                                                                  河北省标准化协会

                                                                                                                    2023年7月27日


集成电路用混合气体 15%氙氢.pdf