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河北省标准化协会
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根据《河北省标准化协会团体标准管理办法》的有关规定，河北省标准化协会批准发布《集成电路用混合
气体10%氨/氦》团体标准，该标准于2023年7月27日发布，2023年7月27日实施。现予以发布。
标准的编号及名称如下：
T/CHBAS 34-2023 集成电路用混合气体10%氨/氦
河北省标准化协会
2023年7月27日
