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河北省标准化协会
石家庄市中华南大街418号
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各有关单位：
根据《河北省标准化协会团体标准管理办法》的有关规定，河北省标准化协会批准发布《集成电路用混合
气体3%氘/氮》团体标准，该标准于2023年7月27日发布，2023年7月27日实施。现予以发布。
标准的编号及名称如下：
T/CHBAS 32-2023 集成电路用混合气体3%氘/氮
河北省标准化协会
2023年7月27日
